三星显示取得沉积装置专利，通过旋转动作去除污染物

点击次数：100 发布日期：2026-02-07 10:02

国家知识产权局信息显示，显示有限公司取得一项名为“沉积装置”的专利，授权公告号CN223852734U，申请日期为2024年12月。

专利摘要显示，沉积装置包括：沉积源，通过喷射口朝向基板喷射沉积物质；角度限制板，具有限定有第一区域、第二区域和第三区域的多边形的截面形状，第一区域布置在喷射口的周边而限制沉积物质的喷射角度并具有第一温度，第二区域与第一区域交叉并具有与第一温度不同的第二温度，第三区域位于第一区域与第二区域之间并具有与第一温度和第二温度不同的第三温度，所述角度限制板通过旋转动作在第一区域、第二区域和第三区域重复移动时去除污染物；以及旋转驱动装置，使角度限制板旋转。